Анализ спектральных линий с различной интенсивностью при диагностике технологических процессов

Рассмотрены ограничения, накладываемые на время накопления заряда в фотоприемниках с зарядовой связью, связанные с процессами генерации зарядов в полупроводниковой структуре. Определен диапазон времени накопления заряда, в котором для исследованного фотоприемника наблюдается линейность светосигнальной характеристики. Показаны особенности эффекта блюминга при перенасыщении сигнала для исследованного типа фотоприемника с зарядовой связью. Продемонстрирована возможность одновременного анализа линий малой и высокой интенсивности при многократном суммировании спектров излучения, полученных при небольшом времени накопления заряда.

Авторы: Д. К. Кострин

Направление: Физика твердого тела и электроника

Ключевые слова: Спектральная линия, оптический спектрометр, фотоприемник, интенсивность излучения, блюминг


Открыть полный текст статьи