РАСПРОСТРАНЕНИЕ ПОВЕРХНОСТНОЙ АКУСТИЧЕСКОЙ ВОЛНЫ В МНОГОСЛОЙНОЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЕ С МЕТАЛЛИЗАЦИЕЙ НА ИНТЕРФЕЙСЕ
Решена задача распространения поверхностной акустической волны вдоль границы многослойной пьезоэлектрической/диэлектрической структуры, состоящей из N слоев, расположенных на полубесконечной подложке с металлизацией на интерфейсе. Приведены примеры расчета такой структуры для слоя оксида кремния на кварце ST-X среза. При толщине порядка 0.1h/ коэффициент электромеханической связи практически постоянен и равен 0.033 %.
Авторы: А. Т. Галисултанов, А. В. Осетров
Направление: Приборостроение и информационные технологии
Ключевые слова: Скорость ПАВ, КЭМС, многослойные структуры, ST кварц, SiO2
Открыть полный текст статьи